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1200℃三温区三通道混气CVD系统
型号：
OTF-1200X-80-III-F3LV
产品概述：
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，它是由管式炉，三路浮子流量供气系统组成，其真空度可达到 10-2 torr。
| 壳体结构 | · 双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于60度 · 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失，环保节能 · 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 可开启式，更换炉管方便 |
| 功率 | 5 KW |
| 电压 | AC 208-240V单相, 50/60 Hz |
| 加热元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| **工作温度 | 1200℃ |
| 连续工作温度 | 1100℃ |
| **加热速率 | ≤20 ℃/min |
| 石英管& 密封法兰 | · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内 · 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰，压力表和阀门（点击下面的图片查看详细的信息） · |
| 加热区长度 | · 三个温区长度: (880mm, 35" in total) · 温区 1: 220mm (8.6" ) · 温区 2: 440mm (17.3") 温区 3: 220 mm (8.6") 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 |
| 温控系统 | · 三个精密温度控制器，可独立控温 · PID控制方式,通过PWM固体继电器。 · 30段可编程智能温度调节仪，并可设置30段升降温程序. · 带有过热和断偶保护功能 控温仪表操作视频 |
| 控温精度 | +/- 1℃ |
| 真空密封系统 | · 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）. · 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵，真空度可以达到10-4 torr. · 漏气率 < 5 m-torr / min · |
| 真空泵 | 采用双旋机械泵，机械泵上安装有进口的油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的*小微粒直径为0.3微米 |
| 数字式真空显示计 | 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换 |
| 气体流量计和压力表 | · 三个浮子流量计，能够检测到气体的流 · 三路浮子量程分别为 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min · 内部安装有一混气罐 有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上，可以检测气体压力及混合槽的压力 |
| 阀门 | 四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上，用于控制气体的流量 |
| 外形尺寸 | · 炉子: 1100 X 450 x 670mm 底部移动架: 600x600x597mm |
| 开门断电 | 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
| 净重 | 约 90 Kg |
| 运输重量 | 245 lbs |
| 质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件 |
| 质量认证 |
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| 使用注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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